气体质量流量控制器

2025-10-07 19:52:02 避难所建设

真空质量流量控制器经过预配置，可方便地适用于真空工艺。这些仪器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.1%，控制范围为0.01-100%（10000:1）

真空质量流量控制器

MCE系列真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，配有焊接的1/4〃VCR接头.

MCES系列防腐蚀真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，流量为128+种气体，包括32种腐蚀性气体。

MCV系列真空质量流量控制器配有用于硬真空应用的气动切断阀。 MCVS系列防腐真空质量流量控制器配备了一个用于硬真空应用的气动切断阀，流量为128+种气体，包括腐蚀性气体。